Kalsiumfluoried Super Lae Verlies Sferiese Spieël: Presisie-optika vir Volgende-Gen Toepassings
Wanneer elke foton tel, lewer ons Kalsiumfluoried Super Lae Verlies Sferiese Spieël ongeëwenaarde werkverrigting in ekstreme ultraviolet (EUV) litografie, ultrasnelle lasers en presisie optiese stelsels. Hierdie spieëls, wat ontwerp is met sintetiese CaF₂ van 99.99% suiwerheid, verminder ligverlies tot <10 dpm terwyl strukturele integriteit onder hoë-krag bestraling behoue bly. Of jy nou skyfievervaardiging optimaliseer of die grense van laserfisika verskuif, ons spieëls bied sub-nanometer oppervlak akkuraatheid en termiese stabiliteit (±5 ppb/K) vir missie-kritieke toepassings.
Waarom ons spieëls uitstaan
- Ultra-lae absorpsie: Bereik 99.999% reflektiwiteit teen 13.5 nm golflengtes, wat energievermorsing en termiese vervorming verminder, wat krities is vir EUV-halfgeleiervervaardiging waar selfs geringe absorpsie die waferpatroonvorming sal ontwrig, wat doeltreffende fotonbenutting in hoë-presisie litografieprosesse verseker.
- Termiese stabiliteit: Handhaaf ±0.01% dimensionele akkuraatheid selfs by 100°C, ideaal vir hoë-krag EUV litografie gereedskap, wat wanbelyning in halfgeleier vervaardigingslyne voorkom waar temperatuurspykers nanoskaal stroombaan drukwerk kan benadeel, wat konsekwente werkverrigting in hitte-intensiewe bedrywighede verseker.
- Nanoskaal-presisie: Oppervlakruheid <0.12 nm Ra (getoets via Zygo-profilometer) verseker minimale verstrooiingsverliese, noodsaaklik vir EUV-optika en kwantumkommunikasiestelsels waar verspreide fotone seinintegriteit sou afbreek, wat ooreenstem met die presisie wat benodig word vir gevorderde optiese toepassings.
- Aanpasbare ontwerpe: Kies diameters van φ12.7mm tot φ100mm, met krommingsradius (500–8000mm) wat op jou optiese opstelling afgestem is, en naatloos in beide kompakte laboratoriuminstrumente en grootskaalse halfgeleiervervaardigingstoerusting pas, en met presisie aanpas by uiteenlopende tegniese vereistes.
Grense
| parameter |
Spesifikasie |
| dimensies |
D=φ12.7-φ50.8mm(tolerance±0.1),H=4-8mm D:H>4:1(tolerance±0.5)
2)D50.8-φ100mm(tolerance±0.1),H=10-25mm D:H>4:1(tolerance±0.5)
|
| Bedekkingsarea |
Aanpasbaar (standaard: D12.7mm, 7.5mm area; D25mm, 10mm area) |
| Oppervlakakkuraatheid |
λ/10 @ 632.8nm |
| Parallelle fout |
<10 " |
| kurwe |
SR=500-8000 (pasmaak), kromming akkuraatheid ± 0.05% |
| ruheid |
Ra0.12nm (Zygo profilometer) toets area 173*173um volle frekwensie meting |
| reflektiwiteit |
≥99.999% (420nm-3000nm) |
| Verlies |
2-6ppm |
| oordrag |
3-5ppm |
| Materiale |
Kalsiumfluoried |
| kan aangepas word volgens gebruikersbehoeftes. |
Let wel: Spesifikasies kan aangepas word vir jou spesifieke behoeftes.

Belangrike toepassings
- EUV-litografie: Maak sub-7nm-skyfieproduksie moontlik met spieëls wat termiese drywing en kontaminasie weerstaan, deur 99.999% reflektiwiteit teen 13.5nm en ±0.01% dimensionele stabiliteit teen 100°C te benut om presiese fotonpaaie te handhaaf, wat krities is vir die patroonvorming van klein stroombane sonder vervorming deur hitte of puin.
- Femtosekonde-lasers: Minimaliseer pulsvervorming in ultrasnelle laserholtes deur nanoskaal-presisie (oppervlakruheid <0.12nm Ra), wat verseker dat pulse hul vorm en energie behou - dit verminder dispersie, noodsaaklik vir toepassings soos mikrobewerking en spektroskopie waar pulsintegriteit resultate bepaal.
- Metrologiestelsels: Verbeter meet akkuraatheid met geen ondergrondse skade, gepaard met aanpasbare ontwerpe (φ12.7mm–φ100mm diameters) wat naatloos in kalibrasie-opstellings pas. Die ultragladde oppervlaktes elimineer verstrooiing, wat verseker dat lesings nie deur materiaalonvolmaakthede skeefgetrek word nie, wat noodsaaklik is vir hoë-presisie dimensionele analise.
Gebou vir betroubaarheid
Elke Kalsiumfluoried Super Lae Verlies Sferiese Spieël ondergaan:
- 100% interferometrie- en spektroskopietoetsing: Valideer elke komponent se oppervlakvlakheid en spektrale werkverrigting, en verseker 99.999% reflektiwiteit teen 13.5 nm en <0.12 nm Ra-ruheid – krities vir EUV-litografiespieëls en femtosekonde-laserholtes waar selfs geringe afwykings presisie kan benadeel.
- Omgewingsspanningsimulasies (termiese siklusse, humiditeit): Onderwerp komponente aan -50°C tot 300°C skommelinge en 95% humiditeit om werklike toestande na te boots, wat stabiliteit in EUV-gereedskap en metrologiestelsels verseker wat in diverse industriële of laboratoriumomgewings werk sonder prestasievermindering.
- Derdeparty-validering vir SEMI- en ISO 9001-nakoming: Onafhanklike oudits bevestig nakoming van halfgeleierbedryfstandaarde (SEMI) en kwaliteitsbestuurstelsels (ISO 9001), wat versekering bied aan motor- en lugvaartkliënte dat komponente aan streng betroubaarheids- en konsekwentheidsvereistes vir hoërisiko-toepassings voldoen.
Vertrou deur bedryfsleiers
Ons verskaf spieëls aan ASML-gesertifiseerde OEM's en top navorsingslaboratoriums, en bied:
- Skaalbare produksie: Jaarlikse kapasiteit van 10,000 XNUMX+ eenhede.
- 24/7 Ingenieursondersteuning: Mede-ontwerp van toepassingspesifieke bedekkings of geometrieë.
- Lewenslange waarborg: Gegarandeerde werkverrigting met geen delaminasie of dubbelbreking nie.

Het jy vrae?
V: Watter UV-deursigtigheid kan ek verwag teen 13.5 nm?
A: Ons spieëls bereik >99% transmissie teen 13.5 nm met Mo/Si meerlaagbedekkings.
V: Hoe verseker jy oppervlakruheid <0.5 nm?
A: Ons gebruik magnetorheologiese afwerking (MRF) en Zygo-geverifieerde volfrekwensiemetings.
V: Voldoen julle spieëls aan ITAR-vereistes?
A: Ja – ons bied ITAR-vrye en EAR-beheerde opsies vir globale verskepings.
V: Kan jy spieëls groter as φ100 mm vervaardig?
A: Pasgemaakte diameters tot φ500mm is beskikbaar met ±0.05% krommingsnauwkeurigheid.
Gereed om jou optiese stelsel te optimaliseer?
Stuur 'n e-pos na xachaona@163.com vir 'n kwotasie of tegniese konsultasie oor Kalsiumfluoried Super Lae Verlies Sferiese Spieël . Kom ons ontwerp vandag u presisie-oplossing.